Lijiejing 9 collu cimdi ar zemu hloroprēna saturu: jauns standarts tīrai aizsardzībai pusvadītāju ražošanā

Ņemot vērā arvien stingrākās “nulles defektu” prasības pusvadītāju ražošanā, Lijie 9 collu zema hlora nitrila cimdi ir kļuvuši par neaizstājamu aizsarglīdzekli plākšņu apstrādes un mikroshēmu iepakošanas posmos, pateicoties to ārkārtīgi zemajam jonu atlikumu līmenim un augstajai tīrībai. Pateicoties specializētai apstrādei, cimdu hlora saturs tiek stingri kontrolēts ≤50 ppm līmenī, kas ievērojami pārsniedz nozares standartu 100 ppm. Tas efektīvi novērš korozijas riskus, ko rada hlorīda jonu migrācija uz plākšņu virsmām, atbilstot pusvadītāju ražošanas stingrajām mikroskopiskā piesārņojuma kontroles prasībām.

Litogrāfijas procesu laikā cimdu tīrība tieši ietekmē fotorezista pārklājuma precizitāti un ekspozīcijas rezultātus. Šis produkts, kas ražots 100 000 klases tīrtelpās un pakļauts lāzera putekļu noņemšanai, uzrāda virsmas daļiņu emisiju zem 0,2 daļiņām/kvadrātcollā, kas atbilst ISO 3. klases tīrtelpu standartiem. Tas efektīvi novērš mikrodaļiņu pielipšanu pie plāksnīšu virsmām, tādējādi samazinot litogrāfijas defektus. 9 collu garā konstrukcija nodrošina pilnīgu pārklājumu no plaukstas locītavas līdz plaukstai. Apvienojumā ar elastīgu aproces struktūru tas nodrošina darbības elastību, vienlaikus efektīvi novēršot putekļu izdalīšanos piedurknes atverē, atbilstot stingrajām prasībām dinamiski tīrām vidēm litogrāfijas procesos.

Procesos, kuros iesaistīti ļoti kodīgi reaģenti, piemēram, kodināšana un jonu implantācija, šie cimdi demonstrē izcilu ķīmisko izturību. Pēc 24 stundu iegremdēšanas testēšanas parastos pusvadītāju reaģentos, piemēram, fluorūdeņražskābē un fosforskābē, tie neuzrāda pietūkumu vai plaisāšanu, un svara izmaiņas ātrums ir mazāks par 0,8%. Tas nodrošina uzticamu roku aizsardzību operatoriem, vienlaikus novēršot reaģentu piesārņojuma risku, ko rada cimdu bojājumi. Pirkstu galiem ir 0,02 mm lāzergravētas pretslīdes tekstūras, kas palielina berzi par 35%, rīkojoties ar 12 collu plāksnēm, un samazina plāksnīšu slīdēšanas risku par 60%. Tas panāk līdzsvaru starp aizsardzības drošību un darbības stabilitāti.

Šie cimdi, kas pašlaik ir sertificēti atbilstoši SEMI F57 standartiem, tiek izmantoti masveida ražošanas līnijās vadošajās lietuvēs, tostarp SMIC un Hua Hong Semiconductor. Tie par 38 % samazina plākšņu brāķu daudzumu, ko rada roku saskare, tādējādi kļūstot par ideālu izvēli pusvadītāju ražošanā, lai līdzsvarotu tīrtelpu aizsardzību ar darbības efektivitāti.