Pusvadītāju plākšņu ražošanā litogrāfijas process ir kritisks, precīzi noteikts solis, kas nosaka mikroshēmas ražu. Kā “ekspozīcijas un attēlveidošanas kodols” plākšņu ražošanas procesā, litogrāfija aptver visu darbplūsmu, tostarp pārklāšanu ar centrifūgu, ekspozīciju, attīstīšanu, kodināšanu un mitro tīrīšanu, un tai ir ārkārtīgi stingras prasības attiecībā uz vides tīrību, piemaisījumu kontroli, elektrostatisko aizsardzību un ķīmisko izturību. Mikronu līmeņa putekļu daļiņas, jonu migrācija un īslaicīgas elektrostatiskās izlādes var tieši izraisīt fotorezista defektus, raksta neatbilstību, plākšņu oksidēšanos un mikroīsslēgumus shēmās, kas noved pie veselu plākšņu utilizācijas un rada milzīgus ražošanas zaudējumus. Daudziem funkcionālajiem gaisa balonu ražotājiem (FAB) ir grūtības uzlabot fotolitogrāfijas procesu ražu. Pat ja aprīkojums, procesi un vides parametri ir kārtībā, vājā vieta bieži vien ir šķietami nenozīmīgi roku aizsardzības palīgmateriāli. Parastie 1000. klases vai rūpnieciskās klases tīrtelpas cimdi ir pilnīgi nepiemēroti fotolitogrāfijas procesa īpaši augstajiem standartiem.
Kāpēc litogrāfijas procesā ir stingri aizliegts lietot parastos tīrtelpas cimdus?
Pulvera atliekas izraisa fotorezista piesārņojumu
Pārmērīgs sēra un hlorīda jonu daudzums korozē vafeļu shēmas
Statiskā elektrība izgāja no kontroles, izraisot precīzās fotolitogrāfijas vafeļa bojājumu.
Lobīšanās un lobīšanās, kas ražošanas procesā rada svešķermeņu defektus
LjieClean 100. klases bezpūdera nitrila cimdi
Suzhou Leader koncentrējas uz pusvadītāju plākšņu ražošanas nozari un risina litogrāfijas procesa problēmas, tāpēc esam izstrādājuši specializētus 100. klases bezpūdera, zema gāzu izdalīšanās nitrila cimdus, kas lieliski atbilst visa plākšņu litogrāfijas procesa ražošanas prasībām, padarot tos par daudzu rūpnīcu un plākšņu iepakošanas un testēšanas uzņēmumu iecienītākajiem aizsargmateriāliem.
1. Dihlorīdu bāzes pulvera nesaturošs process: fotolitogrāfijas procesā nav pulvera piesārņojuma
Izmantojot pusvadītājiem specifisku hlorēšanas attīrīšanas procesu, šī metode neprasa pievienot palīgvielas, piemēram, talku, kukurūzas cieti vai silikona eļļu, visā procesā. Tā nodrošina vienmērīgu uzklāšanu visā procesā, likvidējot pulvera daļiņas un silikona eļļas atlikumus, kas piesārņo fotorezistu jau tā avotā, tādējādi pilnībā novēršot svešķermeņu defektus fotolitogrāfijas procesā.
2 Daudzpakāpju īpaši tīra ūdens skalošana nodrošina zemu sēra, hlora un jonu saturu
Veicot vairākus dziļas skalošanas ciklus ar augstas tīrības ūdeni, tiek noņemtas izejvielu piedevas un virsmas atliekas. Stingri tiek kontrolēts sēra, hlora un šķīstošo metālu jonu saturs, kā rezultātā tiek panākts zems NVR (negaistošu atlikumu). Tas novērš plākšņu oksidēšanos, pārklājuma koroziju un kodināšanas defektus, padarot cimdus pilnībā saderīgus ar sarežģītajiem litogrāfijas procesiem 8 un 12 collu plāksnēm.
3. Veidnē iebūvēta modificēta ESD aizsardzība, lai aizsargātu elektrostatiski jutīgas plāksnes
Atšķirībā no komerciāli pieejamajiem antistatiskajiem cimdiem ar pagaidu aerosola pārklājumiem, Gonars izmanto veidnē iestrādātu antistatiskās modifikācijas tehnoloģiju uz nitrila bāzes materiāla. Tas nodrošina stabilu un vienmērīgu virsmas pretestību, nepārtraukti izkliedējot statisko elektrību visā procesā, lai novērstu statiskās elektrības uzkrāšanos, kas varētu izraisīt fotorezista sabrukšanu un bojājumus precīzās mikroshēmas shēmās. Tas ir piemērots litogrāfijas pamatposmiem, piemēram, ekspozīcijai un attīstīšanai.
4. Elastīgs un cieši pieguļošs, piemērots mikronu līmeņa precīzām darbībām
Cimdu materiāls ir elastīgs un pielāgojas rokas kontūrām. Pateicoties neslīdošam teksturētam dizainam pirkstu galos, tie ir viegli un nav apjomīgi, padarot tos ideāli piemērotus precīzām darbībām, piemēram, fotolitogrāfijas vafeļu apstrādei, iekārtu atkļūdošanai un precīzai pārbaudei. Tie nodrošina neierobežotu kustību un novērš slīdēšanu, efektīvi samazinot bojājumus, ko rada nejauši triecieni manuālu darbību laikā. Turklāt tie ir izturīgi pret fotolitogrāfijas šķīdinātājiem un maigām skābēm un sārmiem, un saglabā izturību, nenovecojot vai neplīstot pat ilgstošas lietošanas laikā.
5
✅ Divslāņu vakuuma iepakojums novērš sekundāru piesārņojumu
Gatavie produkti visa procesa laikā tiek iepakoti 100. klases tīrtelpā, izmantojot divslāņu vakuuma noslēgtu iepakojumu, kas uzglabāšanas un transportēšanas laikā tos pilnībā izolē no putekļiem un mitruma. Atverot iepakojumu, nerodas sekundārs piesārņojums, kas ļauj tos nekavējoties izmantot 100. klases litogrāfijas tīrtelpās.
Publicēšanas laiks: 2026. gada 23. jūlijs